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电子束蒸发器镀膜机的维修技巧　

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束镀膜仪

电子束蒸发器镀膜机的维修技巧　　

电子蒸发束镀膜机在使用的过程中因为自身设备的特点可能会出现或大或小的故障问题，较常见到的故障大多是由电路短路、镀膜材料的残渣等原因。

1、真空的腔体内有焦糊味

设备在使用中，电子束镀膜仪，从真空腔体内发出焦糊味，要判断的是零件时候有发生损坏或者被烧毁，如果在排查后发现零件没有任何的异常或者损坏，那么工作人员就需要对设备进行逐步的排查，在维修的过程中需要对腔体采用排除的方法进行检测，电子蒸发源是整个系统的主要的结构，也是排查问题的时候较需要检测的位置。

2、电子枪无法正常的工作

由于电子束是依靠电子枪产生的，如果电子枪无法正常的工作会影响到整台设备的正常工作。需要确定的是高压电缆线的连接部位是否正常，如果正常的情况的话，电子束镀膜仪厂商，就需要查看周围的环境是否比较的潮湿，潮湿的环境有可能会造成电路的短路，容易造成设备出现故障问题。

3、电子束流不能正常的加载

出现这种故障有可能是电极或者电极或者是调压器内部有积炭或有短路现象，它在低电流时还正常，但把电流升到一定的数值时就击穿，电子束镀膜仪，就会出现跳断路器的现象，表面上有时发现不了，好用兆欧表对地摇一摇

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电子束蒸发蒸镀原理

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，电子束镀膜仪出售，硬质涂层设备等。

电子束镀膜仪

蒸镀原理电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和e型枪之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得较高的能量密度，可达l09w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜;另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。电子束蒸镀常用来制备Al、C0、Ni、Fe的合金或氧化物膜，Si02、Zr02膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

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