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电子束蒸发镀膜机的组成结构

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸发沉积

电子束蒸发镀膜机的组成结构　　

电子束蒸发镀膜机主要是由控制系统、真空气路系统以及电子枪系统组成。

1、电子束蒸发镀膜机中的真空气路

在真空的气路中有两个机泵，分别是前级机械泵和高真空低温泵，其中的低温泵作用主要是通过在非常低的温度来，依据冷伞吸附的原来来达到抽真空的目的。在高真空低温泵的启动的过程中，前级机械泵会先将管道处在一个真空的状态中，电子束蒸发沉积公司，当管道的真空度达到一定的程度的时候，仟吉阀就会打开，这样前级机械泵会继续工作，使得管道和低温泵都有一个真空的状态，然后就是前级阀在重复上面的步骤。

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请教关于磁控溅射镀膜和电子束镀膜的区别

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，电子束蒸发沉积供应商，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸发沉积

这两个虽然都属于PVD，实际区别太大了，几乎没法比较，均匀性溅镀好，电子束蒸发沉积厂家，致密性溅镀好，电子束蒸发沉积，沉积速率貌似是蒸镀高，具体建议楼主找相关书籍阅读。

一般蒸镀慢，附着力和致密性较溅镀差，颗粒尺寸较小，均匀性就看设备怎样了

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