实验型电子束镀膜仪价格|实验型电子束镀膜仪|泰科诺科技

请教关于磁控溅射镀膜和电子束镀膜的区别

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这两个虽然都属于PVD，实际区别太大了，几乎没法比较，均匀性溅镀好，致密性溅镀好，沉积速率貌似是蒸镀高，具体建议楼主找相关书籍阅读。

一般蒸镀慢，附着力和致密性较溅镀差，颗粒尺寸较小，均匀性就看设备怎样了

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电子束蒸发镀膜机冷却水路不顺怎么办

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电子束蒸发镀膜机产生冷却水路不通畅或水压不够的情况，会导致冷却能力下降，致使扩散泵上半部分变热，油蒸汽不能良好液化。具体的解决办法将扩散泵进水管接以4mpa的气源，吹出水垢，接出水管同样保持4mpa。若水垢结的很多并且牢固，可通入稀盐酸或者更换扩散泵。

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