泰科诺科技(图)|实验室电子束镀膜仪厂|实验室电子束镀膜仪

电子束加热蒸发源

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，实验室电子束镀膜仪，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，实验室电子束镀膜仪公司，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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电子束加热蒸发源

电子束的蒸发源主要是由电子枪和坩埚两部分组成，必要的时候可能会附带一套可以给镀膜机提供原材料的机械设备。在大多数的情况中，在镀膜机中会将产生以及控制电子束的控制装置和坩埚的设计组成一个整体。以下是电子束加热蒸发源的几种表现的结构形式;

①采用直线阴极和静电聚焦方式加热的蒸发器。

②采用环状阴极和静电聚焦方式加热的蒸发器。

③采用轴向枪和静电远聚焦方式加热的蒸发器。

④采用轴向枪、磁聚焦和磁偏转90度方式加热的蒸发器。

⑤E型电子枪蒸发器，e型电子束蒸发源所发射的电子轨迹与'e'字相似，故简称e型枪。

目前这种形式的蒸发源在真空蒸镀膜工艺中应用较为广泛。

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电子束蒸发镀膜机优点

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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电子束蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击到镀料上。动能转化为热能，实验室电子束镀膜仪厂，使镀料加热汽化，完成蒸发镀膜。

　　电子束蒸发镀膜机的优点：

　　1、电子束加热比电阻加热具有更高的通量密度，可以蒸发高熔点材料，实验室电子束镀膜仪报价，如W、Mo、Al2O3等，并可得到较高的蒸发速率;

　　2、被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，真空蒸发镀膜机可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜;

　　3、电子束蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。

　　电子束蒸发镀膜机的缺点：

　　1、结构较复杂，设备价格较贵;

　　2、若蒸发源附近的蒸气密度高，电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用，电子的通量将散失和轨道偏移;同时引起蒸气和残余气体的激发和电离，会影响膜层质量。

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