多功能纳米镀膜机|泰科诺科技|多功能纳米镀膜机生产

磁控溅射镀膜机

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

多功能纳米镀膜机

磁控溅射镀膜机

ITO 薄膜的磁控溅射靶主要分为InSn 合金靶、In2O3-SnO2 陶瓷靶两类。在用合金靶制备ITO 薄膜时，由于溅射过程中作为反应气体的氧会和靶发生很强的电化学反应，靶面覆盖一层化合物，使溅射蚀损区域缩得很小(俗称“靶中毒”) ，以至很难用直流溅射的方法稳定地制备出优质的ITO 膜。也就是说，多功能纳米镀膜机生产，采用合金靶磁控溅射时，工艺参数的窗口很窄且较不稳定。陶瓷靶因能抑制溅射过程中氧的选择性溅射，能稳定地将金属铟和锡与氧的反应物按所需的化学配比稳定地成膜，故无中毒现象，工艺窗口宽，稳定性好。但这不等于说陶瓷靶解决了所有的问题，其薄膜光电性能仍然受制于基底温度、溅射电压、氧含量等主要工艺参数的影响，不同工艺制备出的ITO 薄膜的光电性能相差甚远。因此，多功能纳米镀膜机，开展ITO陶瓷靶磁控溅射工艺参数的优化研究很有意义。

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磁控溅射窗膜的应用与发展历程

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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磁控溅射窗膜的应用与发展历程

磁控溅射工艺在窗膜行业的应用较早的企业是圣戈班的前身贝卡尔特特舒镀膜的前身MSC公司，那是在70年代末。当时生产的产品只有1米宽。80年代中期才有1.52宽幅的磁控溅射膜问世。到了90年代多层磁控溅射具有高透光高隔热的高性能窗膜问世。较有代表性的是绍华科技开发的7层磁控溅射膜，也就是90年代末进入中国的威固V70。这款膜的出现将磁控溅射窗膜技术推向了**峰。在透光率70%的的情况下将总隔热做到了55%，已接近窗膜的隔热极限了。再2000年后相续有贝卡尔特9层磁控膜推出，韶华自己的10层磁控膜推出，多功能纳米镀膜机出售，隔热性能都没有明显的提升。直至今日，威固刚发布的V70S新品也只是将透光率提高了4个点为74%，而隔热率为54%，反下将了一个点。这么算下来，就是用新的技术把透光率做到70%，多功能纳米镀膜机生产厂，总隔热58%也就是目前磁控膜的极限了。反观国内各大小品牌。在隔热膜透光率70%以上的前提下，太阳能总阻隔率标注为60%多、70%多，80%多，甚至还有90%多的，我是想笑，还是想笑呢？如此标注的还有上市公司。原来国内的技术早已**过了美国，甚至追赶了能量守恒定率。

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